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一、智能动态配气仪特点 高精度、高分辨率控制 低功率(功率大小取决于配气路数) 各路 MFC 集成 20 种基础气体种类 各路 MFC 可自定义 10 种混合气体(20 种基础气体种类按比例混合) 数字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
YP-PQY
生产厂家
2026-08-05
359
一、智能动态配气仪特点 高精度、高分辨率控制 低功率(功率大小取决于配气路数) 各路 MFC 集成 20 种基础气体种类 各路 MFC 可自定义 10 种混合气体(20 种基础气体种类按比例混合) 数字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
YP-PQY
生产厂家
2026-08-05
1075

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